、微波2.45GHz
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；0～500W或0～1000W足額功率，連續(xù)可調(diào)
；2
、本底真空不劣于10Pa；工作氣體分3路控制流(入)量；
石英管式微波等離子體發(fā)生裝置
的詳細介紹
石英管式微波等離子體發(fā)生裝置
(一)性能概況
1、微波2.45GHz；0～500W或0～1000W足額功率，連續(xù)可調(diào)；
2、本底真空不劣于10Pa；工作氣體分3路控制流(入)量；
3、Φ50mm或Φ90mm石英管反應室
(一)性能概況
1、微波2.45GHz；0～500W或0～1000W足額功率，連續(xù)可調(diào)；
2、本底真空不劣于10Pa；工作氣體分3路控制流(入)量；
3、Φ50mm或Φ90mm石英管反應室
，置于微波系統(tǒng)和真空系統(tǒng)的偶合點上
；
4
4
、制冷循環(huán)水冷卻
。
(二)典型實驗
1、化學氣相沉積制備金剛石薄膜
(二)典型實驗
1、化學氣相沉積制備金剛石薄膜
、碳納米材料等
；
2、集成電路等的刻蝕
2、集成電路等的刻蝕
；
3
3
、可催化引發(fā)常規(guī)化學很難實現(xiàn)的反應；
4
4
、高分子
、金屬、生物材料表面改性
。
(三)產(chǎn)品特色
1
(三)產(chǎn)品特色
1
、微波準零泄漏
，確保人身**；
2
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、微波足額功率
，等離子體活力強勁；
3
3
、樣品升降架精巧豪
，可加熱可冷卻；
4
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、制冷循環(huán)水避免長流水費水擾民；
5、循環(huán)水機可聯(lián)機可獨立使用；
6、缺水保護報警功能完善可靠；
7、排氣口有環(huán)保型油霧過濾器；
8、電控系統(tǒng)功能完善靈便醒目；
9、整機造型典雅大氣。
5、循環(huán)水機可聯(lián)機可獨立使用；
6、缺水保護報警功能完善可靠；
7、排氣口有環(huán)保型油霧過濾器；
8、電控系統(tǒng)功能完善靈便醒目；
9、整機造型典雅大氣。
